Міністерство освіти і науки України Національний університет “Львівська політехніка” ТЕРМОРЕ3ИСТИВНІ ВИМІРЮВАЛЬНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ НА ОСНОВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МІКРОКРИСТАЛІВ ІНСТРУКЦІЯ до лабораторної роботи № 4 з курсу “Технологія та конструювання засобів вимірювання” для студентів базового напрямку 6.0913 – “Метрологія та вимірювальна техніка” Затверджено на засіданні кафедри метрології, стандартизації та сертифікації Протокол № 6 від 1 лютого 2002 р. Львівська політехніка 2002 Інструкція до лабораторної роботи № 4 з курсу “ Технологія та конструювання засобів вимірювання “ для студентів базового напрямку 6.0913 – “Метрологія та вимірювальна техніка” Укл. Р.І.Байцар. – Львів: Вид-во Націон. ун-ту “Львівська політехніка”, 2002. – 2? с. Укладач: Байцар Роман Іванович, д.т.н., с.н.с. Відповідальний за випуск: П.Г.Столярчук, д.т.н., проф. Рецензент: Р.В.Бичківський, д.т.н., проф. Навчальне видання ТЕРМОРЕ3ИСТИВНІ ВИМІРЮВАЛЬНІ ПЕРЕТВОРЮВАЧІ НА ОСНОВІ НАПІВПРОВІДНИКОВИХ МІКРОКРИСТАЛІВ ІНСТРУКЦІЯ до лабораторної роботи з курсу “Технологія та конструювання засобів вимірювання” для студентів базового напрямку 6.0913 – “Метрологія та вимірювальна техніка” Укладач: Байцар Роман Іванович
Мета роботи: ознайомитися з принципом побудови, особливостями конструювання та технології виготовлення напівпровідникових вимірювальних перетворювачів механічних та теплових величин з терморезистивними чутливими елементами на основі ниткоподібних кристалів (НК). 1. План роботи 1.1. Ознайомитися з основами технології виготовлення напівпровідникових терморезисторів і їх застосуванням для вимірювання фізичних величин. 1.2. Ознайомитися з технологією та конструюванням терморезистивних перетворювачів температури, швидкості потоку газу, лінійного переміщення і сили ( тиску, прискорення), на базі напівпровідникових НК 1.3. Засвоїти технологічні операції виготовлення деталей та конструкційних елементів процесами, які використовуються в загальному приладобудуванні. 1.4. Засвоїти технологічні операції виготовлення конструкційних елементів процесами, специфічними для напівпровідникового приладобудування. 1.5. Скласти схему технологічного процесу виготовлення, заданого викладачем, напівпровідникового терморезистивного вимірювального перетворювача. 1.6. Експериментально визначити передаточні характеристики перетворювачів і побудувати графічні залежності. 1.7. Оформити звіт. 2. Основні теоретичні відомості 2.1. Терморезистори Терморезистор це провідник або напівпровідник, увімкнутий в електричне коло який перебуває в теплообміні з оточуючим середовищем. Матеріали, придатні для терморезисторів, повинні задовольняти такі вимоги: високе значення температурного коефіцієнта опору; хімічна стійкість до дії оточуючого середовища; достатня тугоплавкість і міцність; великий питомий електричний опір, що важливо при виготовлені малогабаритних перетворювачів. Сучасна технологія забезпечує можливість одержання матеріалів в широкому діапазоні величин питомих опорів – в межах кількох порядків, шляхом зміни співвідношення складових компонентів. Це дозволяє виготовляти терморезистори (ТР) малих розмірів в діапазоні номінальних значень опорів, наприклад від сотень Ом до десятків і сотень кОм. Матеріалом провідникових ТР служать чисті метали (мідь, платина, нікель), оскільки сплави мають нижчий температурний коефіцієнт електричного опору, ніж чисті метали, які входять в склад сплаву. Крім...